Телефон: +7 921 936 2039


Области применения: введение



















Спектрометрическое оценивание толщины тонких плёнок


Система измерения толщины тонких пленок Thin Film базируется на измерении параметров интерференции света для определения оптических параметров толщины слоя. Паттерн интерференции света при помощи математической функции преобразуется в харакреристики толщины пленки. В случае системы с одиночным слоем толщина этого слоя (пленки) может быть вычеслена, если известны оптические характеристики материала пленки и подложки.


Программное обеспечение AvaSoft-ThinFilm имеет расширяемую встроенную базу данных по оптическим характеристикам наиболее часто применяемым материалам подложки и пленки.

Система измерения толщины тонких пленок AvaSpec Thin Film может измерять толщину пленки в диапазоне 10 нм – 50 мкм с разрешением 1 нм.


Измерение толщины тонких пленок AvaSpec Thin Film часто применется в технологиях травления, в случаях, когда необходим контроль и измерение процессов вытравливания плазмой и отложения слоя. Измерение толщины тонких пленок производят также в областях, где определяют характеристики оптически прозрачных пленок на металлах или стекле.


Программное обеспечение AvaSoft Thin film применяется для мониторинга толщины тонкой пленки в режиме реального времени может быть расширено при помощи дополнений Спектрометрический мониторинг и Экспорт в Excel.


Для настройки точности измерений и калибровки системы доступны 2 калибровочных слоя SiO2 различной толщины и референсный слой.


Ниже приведена типичная схема измерений толщины тонких пленок AvaSpec Thin Film


Компоненты системы для измерения толщины тонкой пленки:

Спектрометр

AvaSpec- 2048

Дифракционная решетка UA (200-1100nm), DCL-UV/VIS,  100µm входная щель , DUV покрытие, OSC-UA

Толщина слоя

10 nm- 50 µm, разрешение 1nm 

Программное обеспечение

AvaSoft-Thinfilm

Источник света

AvaLight-DHc компактный дейтериево-галогеновый источник света

Оптоволоконные компоненты

Датчик отражения FCR-7UV200-2-ME UV/VIS, 2m, SMA

Принадлежности

Держатель датчика Thinfilm 

Thinfilm-standard Tile

2 калибровочных слоя SiO2 различной толщины и референсный слой.


Rambler's Top100
© 2003-2015 ООО "ЛОКАМЕД" E-mail: avantes@rambler.ru, телефон: +7 921 936 2039, факс: +7 812 234 5973
Last Updated: 15.02 2015

спектрометр спектрометр