Телефон: +7 921 936 2039

А.И.Андреев, С.В.Мухин, В.В.Некрасов, В.А.Никитенко, А.В.Пауткина

Модульная многофункциональная оптоволоконная спектрометрическая система

Часть I

Устройство и принципы эксплуатации аппаратуры

2.6. Конфигурации модульных узлов AvaSpec для практических измерений

2.6.1.Измерение толщины тонких пленок

Система измерения толщины тонких пленок Thin Film базируется на измерении параметров интерференции света для определения оптических параметров толщины слоя. Паттерн интерференции света при помощи математической функции преобразуется в характеристики толщины пленки. В случае системы с одиночным слоем толщина этого слоя (пленки) может быть вычислена, если известны оптические характеристики материала пленки и подложки.

Типичный измерительный комплекс Avantes для измерения толщины плёнок приведён на рисунке. Необходимые для проведения измерений толщины плёнок компоненты перечислены в таблице.

Компоненты системы для измерения толщины тонких пленок

TUTПрограммное обеспечение AvaSoft-ThinFilm имеет расширяемую встроенную базу данных по оптическим характеристикам наиболее часто применяемым материалам подложки и пленки.

Система измерения толщины тонких пленок AvaSpec Thin Film может измерять толщину пленки в диапазоне 10 нм – 50 мкм с разрешением 1 нм.

Измерение толщины тонких пленок AvaSpec Thin Film часто применяется в технологиях травления, в случаях, когда необходим контроль и измерение процессов вытравливания плазмой и отложения слоя. Измерение толщины тонких пленок производят также в областях, где определяют характеристики оптически прозрачных пленок на металлах или стекле.

Программное обеспечение AvaSoft Thin film применяется для мониторинга толщины тонкой пленки в режиме реального времени может быть расширено при помощи дополнений TUСпектрометрический мониторингUT и TUЭкспорт в Excel.UT

Комплект для настрой­ки точности измерений и калибровки системы содержит 2 калибровочных слоя SiOB_2B различной толщины и референсный слой. Типичная интерференционная картина, полученная при измерении калибровочного слоя приведе­на на рисунке справа.

Эффекты, наблюдающиеся в изменении характера интерференционной картины при измерении слоёв разной толщины, проиллюстрированы на нижеследующих рисунках: